报告题目:基于贝叶斯网络的半导体生产故障检测方法
报告时间:2017年5月31日(周三)上午8:30
报告地点:计算机楼B303
报告人简介:
朱允刚博士于2016年9月至2016年11月以博士后身份赴奥地利维也纳工业大学(Vienna University of Technology)计算机工程系(Department of Computer Engineering)进行了为期3个月的合作研究。研究课题为:贝叶斯网络在信息物理系统中的应用(Research on Bayesian network and its Application in Cyber-Physical Systems),外方合作导师为该校计算机工程系主任Radu Grosu教授。
报告内容简介:
半导体晶元生产过程包含很多阶段,多数传统检测方法需要在所有生产阶段都完成后,才能检测出生产过程是否存在故障。本研究基于贝叶斯网络对半导体生产过程建模,通过贝叶斯网络推理方法实现生产过程中的故障预测。
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